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徠卡離子減薄儀是一種常見(jiàn)的表面處理工具

更新時(shí)間:2023-05-09      點(diǎn)擊次數:912
  徠卡離子減薄儀是一種常見(jiàn)的表面處理工具,基于離子束的物理原理來(lái)實(shí)現薄膜削減的,它的工作原理主要包括兩個(gè)方面。首先,該設備通過(guò)電子槍將離子束產(chǎn)生,并將離子束加速到一定能量水平。隨后,離子束進(jìn)入樣品室,與樣品表面相互作用,產(chǎn)生削減效應。離子束與樣品表面物質(zhì)相互作用的結果是,在樣品表面形成較淺的傷痕區域,從而減小材料的原始厚度,形成新的薄膜結構。
 
  徠卡離子減薄儀在使用的過(guò)程中,需要注意以下幾點(diǎn):
 
  1.樣品的選擇與準備:由于離子減薄是對材料表面進(jìn)行加工,所以需要選擇具有一定厚度的樣品,并確保樣品表面光潔、無(wú)氧化物和塵埃等污染物。
 
  2.離子束加速:設備中需要設置離子束加速度,以確保離子束產(chǎn)生的動(dòng)能足夠強大,能夠削減材料的表面。
 
  3.離子束注入時(shí)間:需根據所使用離子種類(lèi)、樣品厚度及所需的削減深度等因素來(lái)設置離子注入時(shí)間,以確保得到期望的結果。
 
  徠卡離子減薄儀在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應用,包括:
 
  1.半導體工業(yè):在半導體器件的生產(chǎn)過(guò)程中,徠卡離子減薄儀可以實(shí)現對芯片及其襯底薄膜的加工,可用于改善晶體結構特性或實(shí)現制造芯片的厚度。
 
  2.光學(xué)制造:可以用于光學(xué)元件制造,如光學(xué)鏡頭、薄膜濾波器等,以加工出所需的薄膜厚度和形狀,從而實(shí)現優(yōu)良的光學(xué)性能。
 
  3.環(huán)境科學(xué):可以用于制備各種環(huán)境薄膜材料,例如過(guò)濾膜、氣敏材料等,以滿(mǎn)足工業(yè)、農業(yè)、環(huán)境保護等領(lǐng)域的需求。
 
  4.用于光學(xué)元件(例如透鏡、棱鏡和窗戶(hù)等)的精密加工和表面拋光工藝,減少了機械切削和磨削對材料的損傷,使得加工精度更高、表面質(zhì)量更優(yōu)。它采用的是離子束刻蝕技術(shù),利用高速離子束轟擊光學(xué)元件的表面,使其材料原子產(chǎn)生濺射,然后通過(guò)特定加工模式和參數的調節,減薄元件表面或者改變其形狀。其優(yōu)點(diǎn)是加工速度快、成本低、加工效率高,深刻地改變了傳統的光學(xué)加工方式,推進(jìn)了光學(xué)儀器的技術(shù)發(fā)展。
 

徠卡離子減薄儀

 

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